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定位系統(tǒng)

產(chǎn)品類別	參考圖片	產(chǎn)品系列及應(yīng)用
解決方案		施耐博格-解決方案機(jī)架、彩色過濾打印、移動(dòng)基質(zhì)、間隔干涉量度法、陣列測試器選用定制的平板顯示器解決方案； XY開放式掩蓋檢測與維修、XYT晶片檢測與計(jì)量 (AOI)、XYT+Z系統(tǒng)、包括控制器與主動(dòng)隔振系統(tǒng)、高通量晶片檢測 XYZT系統(tǒng)、集成的XYZT晶片檢測系統(tǒng)，其中包括主動(dòng)隔離系統(tǒng)選用半導(dǎo)體解決方案；主軸與附加軸、大型打印單軸，包括Z軸、三維打印引擎選用打印解決方案；大型薄膜劃線工具用移動(dòng)基質(zhì)和4個(gè)激光頭、Y機(jī)架XZ系統(tǒng)用于激光劃線工具用太陽能解決方案； 5 軸系統(tǒng)用于電子束檢測、楔形設(shè)計(jì)的Z軸用于電子束應(yīng)用、XY系統(tǒng)用于平板印刷和度量衡(EUV)、XYT度量衡和電子束檢測、帶有固定電機(jī)的XY系統(tǒng)、Y機(jī)架X階段用于光刻工具、SEM XYT運(yùn)動(dòng)平臺選用真空解決方案；牙科、光學(xué)、生命科學(xué)選用相對應(yīng)的解決方案；
核心能力		施耐博格-定制系統(tǒng)核心能力晶片計(jì)量生產(chǎn)應(yīng)用高動(dòng)態(tài)精密軸選用施耐博格定位系統(tǒng)中的CFRP組件(碳纖維增強(qiáng)復(fù)合材料)；